exposition de la tranche pas à pas
- exposition de la tranche pas à pas
- žingsninis plokštelės eksponavimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. optical wafer stepping
vok. schrittweise Waferbelichtung, f
rus. последовательное шаговое экспонирование пластины, n
pranc. exposition de la tranche pas à pas, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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